外媒:台積電2030年啟用高NA EUV微影技術,一台機台要價4億美元
商業觀點

外媒:台積電2030年啟用高NA EUV微影技術,一台機台要價4億美元

Max Lu 呂元鐘 ・ 2026-09-12 ・ 原載於 Facebook

解釋一下EUV:EUV(極紫外光微影)機器是先進晶片製造的核心設備,利用波長僅 13.5 奈米的極紫外光,把極細電路圖案投影到晶圓上。目前全球只有荷蘭 ASML 能量產 EUV 曝光機,一台由十萬個以上零件組成、售價上億美元。台積電、三星、Intel 都靠它製造先進製程晶片,可說是現代半導體最難複製的設備之一。

有點久沒有寫台積電,因為現在就是一個第三季準備很多事情然後第四季噴發的時候,橫盤整理,2300~2500橫盤。

台積電計劃2030年開始使用高NA EUV微影技術,這是半導體製造的一大步。高NA EUV系統可以實現8奈米單曝光解析度,比現有Low-NA EUV的13奈米單曝光解析度更精細。不過台積電也得面對新挑戰:使用6×6英寸光罩的高NA EUV系統,曝光範圍只有Low-NA系統的一半,這對製造大型AI加速器這類大晶片是個障礙。

台積電計劃2030年先用6×6英寸光罩的高NA EUV系統做大規模生產,2031年建立一條使用6×12英寸光罩的試生產線,最終目標2033年把6×12英寸高NA EUV系統用到先進製程生產。這不只是台積電一家的挑戰,是整個產業的共同課題——ASML執行長Christophe Fouquet表示,這種轉變需要整個行業合作,從EDA軟體到光罩生產工具、處理系統,都得跟著調整。

---
台積電最新的製程節點策略,把技術分成每年一次的客戶導向節點(N2、N2P、N2X、A14、A13這類)跟每兩年一次的高性能節點(2027年的A16、2029年的A12)。A12和A13這兩代會繼續用現有的EUV技術,等到A13之後的下一代——不管最後命名是A11還是A10——才會換上這套新的高NA EUV微影技術,追求更高的電晶體密度與效能。

一台高NA EUV系統的要價高達4億美元,且初期生產效率可能較低,這代表台積電這步棋不只是技術問題,也是一筆龐大的資本支出決策。技術能不能如期在2030年成熟到量產等級,會直接影響台積電這個時程能不能守住。

---
英特爾在這條路上已經比台積電早卡位——英特爾與ASML合計已經在高NA EUV平台上處理超過一百萬片300毫米晶圓,是目前全球唯一實際用這套技術進行量產等級製造的公司。

台積電選擇2030年才正式導入,等於讓英特爾先把光罩尺寸、生產效率這些技術坑踩過一輪,台積電再帶著更成熟的產業鏈支援進場。這種「晚進場但求穩」的策略,跟台積電一貫的作風一致——先進製程的競賽裡,第一個上場不等於贏,穩穩量產出良率才是真正的關鍵。

怎麼看這件事呢?

我覺得技術進步跟資本決策還有實際運營怎麼互相牽動才是重點。

一台機台4億美元,台積電敢押注2030年上線、2033年才全面成熟,等於提前七年就把賭注下好。這種尺度的長期投資,也是馬斯克自建晶圓廠(Terafab)這類計畫遲早得面對的門檻——不是有沒有錢的問題,是有沒有耐性熬過技術還不成熟的那幾年。

無論是從日系代購到高端旅宿,我自己的體會是:真正的護城河從來不是搶第一個做,是熬得住那段沒人看好的過渡期,那你說要怎麼辦?

我覺得最強的是台積電沒有在鳥INTEL的領先,(乾反正你做代工又不會贏我)。

這真的才厲害。

← 看更多 Max Lu 呂元鐘 的文章